评估RCO催化燃烧设备的处理效率，可以从以下几个关键性能指标进行：

1. 总净化效率：RCO设备的总净化效率通常可达97%以上。这意味着设备能够将大部分有机污染物转化为无害的二氧化碳和水。

2. 处理浓度范围：RCO设备适用于处理浓度低于1.67g/m³的废气，在保证非甲烷总烃排放浓度低于50mg/m³条件下，对于浓度高于1.67g/m³的废气处理可能不能达标排放。

3. 热效率：RCO的热效率约为95%，这意味着实际利用的热量与理论可利用总热量之比较高，显示出较好的节能性。

4. 进出口温差：RCO设备的进出口温差通常为20℃，这表明设备在运行过程中能够有效地回收热量。

5. 开机升温时间：RCO设备在冷启动情况下，开机升温至400℃的时间约为0.7小时，显示出较快的启动性能。

6. 节能性：RCO设备内置蓄热体，能够有效回收和循环利用燃烧产生的热量，降低运行能耗。

7. 运行温度：RCO设备的运行温度通常在250-350°C之间，远低于RTO设备，这有助于降低能耗并减少NOx等有害副产物的生成。

8. 安全控制：RCO设备配备有温度传感器、压力检测器等监控设备，确保催化燃烧过程始终在安全可控的温度范围内进行。

通过上述性能指标的综合评估，可以对RCO催化燃烧设备的处理效率有一个全面的了解。这些指标不仅反映了设备的净化能力，还包括了节能性、经济性和安全性等多个方面。